哈特曼波前传感器是一种以波前斜率测量为基础的波前测试仪器。它通过测量光的近场波面位相分布和随时间变化的关系,进而得出系统的光学特性参数(各阶泽尼克系数、点扩散函数PSF、传递函数OTF、调制传递函数MTF、环围能量等),供用户测量、分析和研究。
哈特曼传感器的原理示意图
哈特曼传感器的工作原理如图所示,在传感器中用微透镜阵列将入射波面分割成许多子波面, 使得有像差的波面在每一子波面均可以近似为平面波, 每个子孔径内的子透镜把入射到它上面的光聚焦到位于焦平面的二维CCD面阵上,形成子孔径光斑阵列, 探测被测波前的子孔径光斑相对标定光的偏移量就能测量出光瞳面上各个子孔径内波前在X和Y方向上的局部波前斜率,根据这些斜率数据经过波前复原算法即可以重构出被测光束近场相位分布和远场焦斑信息。
哈特曼波前探测器的优点有:
结构简单、灵活性好,具有大动态范围、高光学效率、不存在2p模糊性问题,没有运动部件,特别是它对环境条件要求低,工作时无需参考光,适应能力强。