Phasics Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪
Kaleo MultiWAVE
光谱 紫外(190 - 400 nm) 可见光 - 近红外 (400 - 1100 nm) 短波红外 (900 - 1700 nm) 中红外 (3 - 5 µm) 远红外 (8 - 14 µm)
Phasics在光学计量领域持续创新，推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差（TWE / RWE）的革命性新产品：Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径最高至5.1英寸（130毫米）的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案，拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度，及动态干涉仪的优秀抗震性能。
- Phasics Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪
- 紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制
- 单台干涉仪可集成多个工作波长
- 纳米级相位分辨率
- 超高动态范围 (>500 条纹数)
Kaleo MultiWAVE产品规格
系统指标
| 光学系统结构 | 双通路 |
| 测量能力 | 反射波前面型测量，或透明光学元件双透射测量 |
| 单台集成工作波长数量 | 标准1或2工作波长，最高可定制8工作波长 |
| 定制波长 | 193nm至14µm范围内任意波长，包含紫外波段266 nm、355nm、405nm，可见光及近红外波段550nm、625nm、780nm、940nm、1050nm，短波红外/中红外/远红外 1.55µm、2µm、3.39µm、10.6µm等 |
| 有效口径 | 5.1英寸（130mm） |
| 光学中心高度 | 108mm |
| 对准系统 | 实时相位及泽尼克系数显示 |
| 系统偏振 | 兼容消偏光学器件 |
| 视场角对准范围 | +/- 2° |
| 可调对焦范围 | +/- 2.5 m |
| 尺寸重量 | 910 x 600 x 260 mm³, 约25 kg |
| 抗震性 | 无需隔震 |
性能指标 (1)
| RMS重复性 (2) | < 0.7 nm (< λ / 900) |
| 可测反射率范围 | 4% - 100% |
(1) 四英寸口径，使用625 nm光源
(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量，每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值，加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。
