NightN光学表面形貌测试仪HION

NightN光学表面形貌测试仪HION

光学测试仪HION用于光学表面测试。该技术基于 Shack-Hartmann 方法。激光束从被测光学表面反射并进入 Shack-Hartmann 波前传感器进行进一步处理。

NightN光学表面形貌测试仪HION

NightN光学表面形貌测试仪HION产品介绍:

光学测试仪HION用于光学表面测试。该技术基于 Shack-Hartmann 方法。激光束从被测光学表面反射并进入 Shack-Hartmann 波前传感器进行进一步处理。

NightN光学表面形貌测试仪HION

产品规格:

  1. 光学孔径:10 至 50 mm(可选300 mm)
  2. 测量时间:10 ms
  3. 测量精度:32nm (P-V)
  4. 测量偏差:5µm(P-V)
  5. 光源:二极管激光器
  6. 光源波长:0.65µm
  7. CCD/CMOS相机

结果输出:

  1. 峰-谷误差P-V,均方根(RMS)
  2. 将像差展开为Seidel 和 Zernike 多项式(倾斜、散焦、像散等)
  3. 2D 和 3D 波前,干涉条纹

NightN光学表面形貌测试仪HION

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