NightN斐索干涉仪RIF

NightN斐索干涉仪RIF

NightN开发了斐索干涉仪RIF和配套软件。该软件旨在处理具有额外倾斜度的干涉图案。

NightN斐索干涉仪RIF

NightN斐索干涉仪RIF产品介绍

NightN开发了斐索干涉仪RIF和配套软件。该软件旨在处理具有额外倾斜度的干涉图案。

NightN斐索干涉仪RIF

NightN斐索干涉仪RIF产品规格:

  1. 孔径:10 至 95 mm(可选高达 300 mm)
  2. 工作频率:高达 25 Hz
  3. 测量精度:0.032µm (P-V)
  4. 测量像差:5µm(P-V)
  5. 光源:二极管激光器
  6. 波长:0.65µm
  7. CCD:FireWire接口相机

软件特色:

  1. 可处理实时图像或保存为 .bmp 图像
  2. 测量精度约为λ/400
  3. 结果显示为 Zernike 多项式系数、P-V 和 RMS 值,相位分布的 2D 和 3D 表示

为了获得被测表面的信息,在 x 方向引入倾斜,并获得 8 到 60 条干涉条纹处理过程包括:

  1. 获取干涉图案图像(或从 .bmp 文件加载)
  2. 确定感兴趣的区域
  3. 过滤数据,排除假极值
  4. 寻找极值

5 将相位转化为极值坐标的表示形式,通过 Zernike 多项式分解、计算峰-谷误差,均方根(RMS)和点扩散函数(PSF)

NightN斐索干涉仪RIF

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