NightN开发了斐索干涉仪RIF和配套软件。该软件旨在处理具有额外倾斜度的干涉图案。
NightN斐索干涉仪RIF产品介绍
NightN开发了斐索干涉仪RIF和配套软件。该软件旨在处理具有额外倾斜度的干涉图案。
NightN斐索干涉仪RIF产品规格：
- 孔径：10 至 95 mm（可选高达 300 mm）
- 工作频率：高达 25 Hz
- 测量精度：0.032µm (P-V)
- 测量像差：5µm（P-V）
- 光源：二极管激光器
- 波长：0.65µm
- CCD：FireWire接口相机
软件特色：
- 可处理实时图像或保存为 .bmp 图像
- 测量精度约为λ/400
- 结果显示为 Zernike 多项式系数、P-V 和 RMS 值，相位分布的 2D 和 3D 表示
为了获得被测表面的信息，在 x 方向引入倾斜，并获得 8 到 60 条干涉条纹处理过程包括：
- 获取干涉图案图像（或从 .bmp 文件加载）
- 确定感兴趣的区域
- 过滤数据，排除假极值
- 寻找极值
5 将相位转化为极值坐标的表示形式，通过 Zernike 多项式分解、计算峰-谷误差，均方根（RMS）和点扩散函数（PSF）
