法国ISP SYSTEM可变形镜

ISP公司所生产的机械式大口径变形镜被广泛应用于激光传输和波前矫正、高质量聚焦、激光扩束/缩束以及成像的像差调制中，是激光通信、天文学、高能量激光应用及自适应光学系统中的关键核心部件。ISP机械式变形镜的独特构造，使得变形镜可断电使用，且稳定性高，相比压电式变形镜具有更优的滞后效应。

变形镜ILAO（强激光自适应光学）型号参数

型号	执行器	最小光束直径	最大光束直径	倾角	膜层
ILAO 65	37	40 mm	65mm	90°	高达 90 mm
ILAO 96-65	37	65mm	65mm	45°	高达120 x 90 mm
ILAO 95	52	95mm	95mm	90°	高达120 mm
ILAO 135-95	52	95mm	95mm	45°	高达170 x 120mm
ILAO 135	52	135mm	135mm	90°	高达170 mm
ILAO 180-135	52	135mm	135mm	45°	高达220 x 170 mm
ILAO 180	52	180mm	180mm	90°	高达220 mm
ILAO 245-180	52	180mm	180mm	45°	高达280 x 220 mm
ILAO 245	52	245mm	245mm	90°	高达280 mm
ILAO 335-245	52	245mm	245mm	45°	高达350 x 280 mm
ILAO 335	52	335mm	335mm	90°	高达350 mm

ISP系统专业从事精密工程、光学力学和机电一体化等领域，ISP为激光系统和同步变色器开发了带有机电驱动器和定位器的可变形反射镜。自2003年以来，它们被CEA成功地测试出了兆焦耳激光，并取代了压电技术。自2007年以来，ISP系统已经安装了几十个使用微型驱动器的MD-AME可变形反射镜。其主要特点是不存在“print-through”效应，运动线性度高，迟滞率低，在不加电源的情况下具有稳定性。ISP可变形反射镜具有动态校正范围大、维护方便、涂层选择方便、易于对大口径激光束扩展、抗电磁脉冲等优点。它们与高真空兼容，并提出了一种低放气版本，适用于可变形反射镜位于靠近压缩光栅的场合。该设计允许在涂层损坏的情况下很容易地更换涂层。一个主动冷却版本可用于连续激光器的功率高达30千瓦。

变形镜（Md-AME）特点：

• -最初的专利技术集中于激光技术人员的需求
• -纳米精度波前校正
• -对激光束无网格效应
• -工作瞳孔：从Ø22mm到Ø800mm，圆形或方形，任何入射角
• -低滞后 (< 0.1%)
• -良好的线性度(>99%)
• -尺寸范围很广，从22毫米到800毫米不等
• -控制架
• -通过LASQUA集团提供完全自适应光学回路
• -与任何波前分析仪和波前校正软件的接口

变形镜（Md-AME）兼容性：

•         -主动或被动冷却
•         -执行器数量
•         – Zernike模式动力学和可实现的阶数
•         – 孔径大小和入射角
•         – 控制策略
•         – 环境兼容性（嵌入式、空间等）
•         – 软件环境（Windows、Linux 等）
•         – 光学表面涂层（波长、损伤阈值、反射率……）

MD-AME可变反射镜使用μAME-ST机械驱动器进行波前校正。即使在系统不通电的情况下，其光学表面也保持其形状，维持矫正面型。光学镜表面没有驱动器粘合痕迹 (print-through effect)。MD-AME变形反射镜可与（夏克哈特曼，横向剪切干涉测量等技术）波前传感器相连接。

ISP SYSTEM也同时为客户在自适应光学环路系统中集成可变形镜提供建议和支持。为强激光设备提供专用和适应的解决方案。这些解决方案在世界各地的许多激光设备上均显示了它们的效率和稳定性。

冷却变形镜（大功率有源光学）特点：

• -专利技术
• -与ImageOptic合作开发
• -配备测微力执行器 (AME) 网络：47个执行器结构
• -微力执行器对镜面抛光故障及像差的修正
• -对激光束无网格效应
• -滞后比压电致动器低(0.1%而不是10%)
• –长期稳定性
• -控制架

空间变形镜（MD-AME Space）特点：

• -空间应用中的波前校正
• -提高空间望远镜成像质量
• -低滞后
• -极低能耗
• -低压电源：24V
• -低滞后（< 0.1%）

空间变形镜（MD-AME Space）MD85-C-31-SPACE特点：

•     -工作瞳孔：直径 85 mm
• -金属涂层
• -31个执行器 (μ-AME12-Space)
• – Zernike order 4
• -尺寸Ø180 x 100mm（不包括连接器）
• -重量 4kg

MIR变形镜（红外激光应用）特点：

• -微力致动器校正的像差
• -对激光束无网格效应
• -良好的线性度(<99%)
• -高稳定性，不含能量
• -长期稳定及不包括电力供应
• -滞后比压电致动器低(＜0.1%)
• -控制架
• -工作瞳孔：椭圆形 40 x 57 mm
• -镀金 (R > 98% @ λ = 10 µm)
• -传导散热2W
• -25个执行器
• -Zernike ordre 3（不包括活塞）
• -尺寸 W 150 x H 110 x D 180（不包括连接器）
• -重量 5kg

变形镜ILAO（强激光自适应光学）特点：

• -专利技术
• -与ImageOptic合作开发
• -高光学质量的镜面 (<10 nm rms)
• -配备微力执行器(AME)网络：37个或52个执行单元
• -滞后比压电致动器低(0.1%而不是10%)
• -接触表面力的均匀分布
• -在镜子上没有摩擦力或指纹效应
• -长期稳定性
• -有多种型号，多种尺寸等。

HIPAO系列高功率主动光学系统

HIPAO是法国ISP system公司的激光波前校正的主动反射镜的设计方案。使用微型执行器(AME)改变反射镜的初始形状上进行校正，以获得尽可能好的波前。同时，AME还可以修正镜面制造误差和激光束像差。

各种应用对变形镜种类有不同要求，我们看要根据您的应用选择合适的方案，请随时联系我们为您定制完整的调制方案。

产品特点：

1. 与压电执行器相比更少迟滞效应(从10 %到0.1 %)
2. 不会因为镜面不连续产生的栅栏效应。
3. μAME促动器使用万向链接头确保与镜子的球接头无摩擦连接
4. 软镜垫可避免镜像上的局部粘合痕迹畸变
5. AME微力促动器排雷补偿镜面制造的低空间频率的缺陷和激光束的像差
6. 长时间高稳定性(无漂移)
7. 断电仍可光束聚焦稳定性
8. 可断电保持调制，抗电磁干扰性高
9. 线性度大于 99%

典型参数：

1. 镜面直径:从40 mm到300 mm
2. 微促动器(AME)校正波前误差
3. 调制单元大小 6 mm ~ 50 mm
4. 促动器调制力+/- 3n至+/- 50n
5. 残余形状误差:小于0.2 μrad RMS
6. 长期稳定性:可达0.1 μrad