Dyoptyka散斑抑制变形镜

此款变形镜基于压电陶瓷，具有连续反射表面。与传统用于自适应光学的变形镜不同，这款产品不再追求大变形量，而是以最高达~1.67MHz的工作频率，通过相位随机变化降低光束的时间和空间相干性，从而在探测器的采集时间内有效抑制散斑现象。与旋转散射体相比，该方法能避免大角度漫散射，提高光能利用率，且体积小、可靠度高。高带宽可使其应用于仅6 ns的短脉冲。

激光的强相干性如同一把双刃剑，一方面它使得干涉仪等应用成为了可能，另一方面由此产生的散斑和干涉条纹却严重阻碍了激光投影、照明等另一些应用的实际使用。

Dyoptyka 开发了一种创新解决方案，使用相位随机化可变形镜，用于减少使用激光和部分相干光源（如超辐射发光二极管）时可能出现的散斑和其他不需要的干扰效应。 它在以下方面提供了优于其他替代品（例如移动漫射器和摇动光纤）的独特优势组合：散斑减少性能、速度、光学效率、电效率、尺寸和可制造性。

	散斑抑制变形镜	散射体
工作原理	发生形变，使光束中各点发生随机相位变化，且每帧不存在关联，从而破坏光束的时间和空间相干性。	内部具有微形结构，使用过程中通过高速旋转，降低光束的时间和空间相干性。典型案例有毛玻璃和Engineered DiffuserTM。
特点	光能利用率高 速度快 可靠度高 体积小	大角度漫反射引起光能利用率下降 占用体积较大 高速机械转动使可靠度降低 电机系统功耗大

左图：非工作状态下的变形镜，右图：工作状态下的变形镜。

主要参数 镜面：连续表面 帧频：100 KHz（典型值），最高可达~1.67MHz 镜面变形量：≤ 1 µm 工作波段：215 nm – 10.6 µm 表面反射率（典型值）：> 98%（可见光波段） 入射光束最高功率：100 W（CW） 入射光束的最短脉冲时长：6 ns 驱动电压：1.8 – 5.5 V DC 功耗（典型值）：75 mW 除变形镜外，同步提供SoC控制电路。

典型应用 激光DLP投影显示 激光全息显示 扫描激光显示 照明 显微镜 脉冲激光雷达 全场OCT：减少串扰 相干测量 结构光三维测量

变形镜SoC控制电路

Dyoptyka 的可变形反射镜解决方案和移动漫射器有什么异同？

这两种方法都用于生成不相关散斑图案的序列，这些散斑图案在曝光期间总和为更均匀的强度。 移动的扩散器必须具有较短的相关长度，以便它不需要以不切实际的高速移动。 相关长度短导致广角扩散，这会大大降低光学效率。 可变形反射镜具有不会导致广角漫射的连续表面。 其效果可以描述为带限时间随机发散。 连续表面以非常高的时间频率随机分布的变形导致许多不相关的散斑图案的产生，例如 在单个一微秒激光脉冲内。

可以使用哪些波长、光功率和脉冲长度？

我们的系统目前被客户使用，波长范围从 215 nm 到 10.6 um（反射效率高达 99.9%，取决于涂层），CW 光功率高达 100 W，脉冲长度短至 1 us。

该技术可用于哪些类型的光学系统？

我们的系统目前被客户用于投影、区域照明、显微镜照明和干涉光学系统。 在自由空间和光纤耦合配置中。

我如何评估我的应用程序中的技术？

我们销售带有光学系统设计咨询支持的评估系统，以帮助实现最佳性能。Dyoptyka 评估系统包括具有特定应用尺寸和涂层的可变形反射镜、可重新配置的控制电子设备和 PC 托管的重新配置软件。

可变形反射镜对 TI DLP 微型投影仪照明路径的应用

可变形反射镜在光束轮廓反射计干涉仪的公共路径中的应用

用单个 1 微秒激光脉冲照射光栅的可变形反射镜的效果。

可变形镜在具有 50 纳米像素大小的磁光克尔显微镜中对物体的影响。